キーワード : イオンエッチング


低エネルギーイオンビームクリーニングを用いたNb系超伝導ジョセフソン接合の作製
宇佐美 興一 松井 誠一 朴 賛勲 守屋 雅隆 小林 忠行 後藤 俊成 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/10/25
Vol. J76-C2  No. 10 ; pp. 688-695
論文種別:  論文
専門分野: 超伝導エレクトロニクス
キーワード: 
Nb超伝導薄膜ジョセフソン素子低エネルギーイオンビームトンネル接合イオンエッチング
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