キーワード : すべり板モードセンサ


弾性表面波マイクロセンサ
塩川 祥子 近藤 淳 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1995/11/25
Vol. J78-C1  No. 11 ; pp. 573-579
論文種別:  招待論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: 弾性表面波デバイス,センサ
キーワード: 
水晶微少質量センサ弾性表面波センサすべり弾性表面波センサすべり板モードセンサたわみ板モードセンサ
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