Basil On-Kit Lui


多結晶シリコン薄膜トランジスタの絶縁膜-シリコン界面と結晶粒界のトラップ準位の抽出
木村 睦 野澤 陵一 井上 聡 下田 達也 Basil On-Kit Lui Simon Wing-Bun Tam Piero Migliorato 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8  pp. 673-683
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
トラップ準位絶縁膜-シリコン界面結晶粒界多結晶シリコン薄膜トランジスタ
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