齋藤 洋司


ゾル・ゲル法により作製したタンタル添加酸化バナジウム膜の電気的特性
宮内 良彰 齋藤 洋司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/10/01
Vol. J91-C  No. 10  pp. 498-499
論文種別:  ショートノート
専門分野: 
キーワード: 
ボロメータ抵抗率温度係数ヒステリシス
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シリコン上へのジルコニウム酸窒化薄膜の形成と誘電特性
鳥居 雅俊 齋藤 洋司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/04/01
Vol. J86-C  No. 4  pp. 480-481
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
ジルコニウム酸窒化膜ゲート絶縁膜スパッタ法XPSC-V特性
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三ふっ化塩素を用いたシリコンのテクスチャ化と光学的評価
門馬 正 石崎 芳宜 齋藤 洋司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/11/25
Vol. J80-C1  No. 11  pp. 536-537
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池テクスチャ構造反射率ClF3ガスプラズマレスエッチング
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三ふっ化塩素を用いたシリコンのテクスチャ化と光学的評価
門馬 正 石崎 芳宜 齋藤 洋司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/11/25
Vol. J80-C2  No. 11  pp. 412-413
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池テクスチャ構造反射率ClF3ガスプラズマレスエッチング
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スパッタ法による酸化亜鉛薄膜形成時における酸素欠損の発生
齋藤 洋司 門馬 正 榊原 幹人 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/03/25
Vol. J80-C1  No. 3  pp. 132-133
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
酸化亜鉛紫外光酸素欠損スパッタ法
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スパッタ法による酸化亜鉛薄膜形成時における酸素欠損の発生
齋藤 洋司 門馬 正 榊原 幹人 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/03/25
Vol. J80-C2  No. 3  pp. 115-116
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
酸化亜鉛紫外光酸素欠損スパッタ法
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