門田　道雄

高温成膜したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を用いた可変容量の集積化プロセス
森脇　政仁 掘露　伊保龍 門田　道雄 江刺　正喜 田中　秀治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2013/06/01
Vol. J96-A  No. 6  pp. 342-350
論文種別:  特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
チタン酸バリウムストロンチウム(BST), 可変容量, トランスファ法, プラズマダメージ, 
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良好な温度特性をもつ小形弾性表面波デュプレクサ
門田　道雄 中尾　武志 西山　健次 谷口　典生 冬爪　敏之 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2013/06/01
Vol. J96-A  No. 6  pp. 301-308
論文種別:  招待論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
SAWデュプレクサ, 高密度電極, 平たん化SiO2, 小形, 良好なTCF, 
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重い電極/水晶基板構造の超小形なSH型LSAWデバイス
門田　道雄 米田　年麿 藤本　耕治 中尾　武志 高田　英一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/11/01
Vol. J86-C  No. 11  pp. 1151-1159
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
重い電極, SH型LSAW, 水晶, 超小形, 共振子型フィルタ, 
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SH型弾性表面波の端面反射を利用した小形共振子型フィルタ
門田　道雄 吾郷　純也 堀内　秀哉 池浦　守 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/03/01
Vol. J86-C  No. 3  pp. 292-300
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
SH-SAW, BGS波, 端面反射, 共振子フィルタ, 
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酸化亜鉛圧電膜と水晶基板を組み合わせた弾性表面波特性
門田　道雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12  pp. 706-714
論文種別:  招待論文 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ZnO膜, 水晶, レイリー波, LSAW高次モード, 良好なTCF, 電気機械結合係数, 
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セラミック基板を用いたBGS波共振子とその応用
諸角　和彦 門田　道雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1995/11/25
Vol. J78-C1  No. 11  pp. 500-506
論文種別:  特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: バルク波デバイス
キーワード: 
セラミック共振子, BGS波, 端面反射共振子, PZT, トラップAFT, VCO, 
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RFマグネトロン形ECRスパッタ装置によるZnO膜の特性
門田　道雄 皆方　誠 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1995/11/25
Vol. J78-C1  No. 11  pp. 580-586
論文種別:  特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: 弾性表面波デバイス，センサ
キーワード: 
RFマグネトロン形ECR, ZnO, SAW, 成膜, サファイア, エピタキシャル膜, 励起子, 
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ZnO膜表面研磨によるSAWフィルタの周波数特性ばらつきの低減
門田　道雄 近藤　親史 中鉢　憲賢 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 1993/10/25
Vol. J76-A  No. 10  pp. 1399-1406
論文種別:  論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
ZnO, SAW, 特性ばらつき, 研磨, 
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ECRスパッタ装置を用いて成膜したZnO膜の圧電的特性
門田　道雄 笠次　徹 皆方　誠 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 1993/02/25
Vol. J76-A  No. 2  pp. 138-144
論文種別:  特集論文 (移動体通信用弾性表面波機能素子論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ECR, ZnO, SAW, 成膜, 電気機械結合係数, 
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