長田 祐介


イオンビーム照射による水晶振動子の周波数変動の理論解析
塩野 忠久 長田 祐介 中川 恭彦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/03/01
Vol. J91-C  No. 3  pp. 194-203
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
水晶振動子周波数調整イオンビームエッチング周波数シフト
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