長友 正文


ラマン分光を用いたTFT-LCD用ポリシリコンの評価
北原 邦紀 野木 博行  亮介 長友 正文 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8  pp. 651-658
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
液晶ディスプレイポリシリコンラマン欠陥応力
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