谷口 修


Siの異方性エッチングと直接接合を用いた微小液滴形成ユニットの研究
朽網 道徳 谷口 修 菊地 英幸 江刺 正喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/10/01
Vol. J90-C  No. 10  pp. 671-682
論文種別:  論文
専門分野: 機構デバイス
キーワード: 
異方性エッチングKOH液滴形成Si単結晶直接接合
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