葉 


電子ビームリソグラフィーにおいてSi-SiO2界面に生じる照射損傷
菅野 卓雄 葉  
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1981/03/25
Vol. J64-C  No. 3  pp. 188-195
論文種別:  論文
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