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船橋 博文
SPE法によるSOI層の熱酸化膜の評価
樹神 雅人
船橋 博文
光嶋 康一
多賀 康訓
誌名:
電子情報通信学会論文誌 C
発行日:
1997/05/25
Vol.
J80-C2
No.
5
pp.
151-156
論文種別:
論文
専門分野:
半導体材料・デバイス
キーワード:
SOI
,
SPE
,
LPCVD
,
OXIDE
,
あらまし
|
本文:PDF
(394.6KB)
SPE法によるSOI層中の不純物拡散
樹神 雅人
上杉 勉
船橋 博文
光嶋 康一
多賀 康訓
誌名:
電子情報通信学会論文誌 C
発行日:
1997/05/25
Vol.
J80-C2
No.
5
pp.
181-183
論文種別:
レター
専門分野:
キーワード:
SOI
,
SPE
,
LPCVD
,
拡散
,
あらまし
|
本文:PDF
(117.2KB)
SiH
4
を用いた清浄表面形成法によるSPE技術とSOI層の評価
樹神 雅人
船橋 博文
光嶋 康一
多賀 康訓
誌名:
電子情報通信学会論文誌 C
発行日:
1996/10/25
Vol.
J79-C2
No.
10
pp.
507-513
論文種別:
論文
専門分野:
半導体材料・デバイス
キーワード:
SOI
,
MOSFET
,
LPCVD
,
SPE
,
あらまし
|
本文:PDF
(580.6KB)
CMOS処理回路を内蔵した32×32(1k)圧力センサアレー
杉山 進
川畑 賢
船橋 博文
瀧川 光治
五十嵐 伊勢美
誌名:
電子情報通信学会論文誌 C
発行日:
1991/05/25
Vol.
J74-C2
No.
5
pp.
411-420
論文種別:
特集論文 (センサとLSIの知的集積化論文特集)
専門分野:
マイクロマシニングセンサ
キーワード:
あらまし
|
本文:PDF
(624.5KB)