結城 正記


高速走査Arレーザアニールによる低温プロセスpoly-S TFT
増茂 邦雄 結城 正記 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5  pp. 256-259
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
poly-Si TFTレーザアニールスピン密度LPCVD
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