笠次 徹


ECRスパッタ装置を用いて成膜したZnO膜の圧電的特性
門田 道雄 笠次 徹 皆方 誠 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 1993/02/25
Vol. J76-A  No. 2  pp. 138-144
論文種別:  特集論文 (移動体通信用弾性表面波機能素子論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ECRZnOSAW成膜電気機械結合係数
 あらまし | 本文:PDF(466.8KB)