窪田 仁志


微分極性比較法によるLSIウェーハ多層パターンの自動外観検査
前田 俊二 広井 高志 窪田 仁志 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1999/01/25
Vol. J82-D2  No. 1  pp. 39-52
論文種別:  論文
専門分野: 画像処理,画像パターン認識
キーワード: 
LSI検査マッチング
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比較検査における数値解析手法を用いたしきい値設定支援
前田 俊二 遠藤 文昭 牧平 坦 窪田 仁志 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1998/01/25
Vol. J81-D2  No. 1  pp. 27-36
論文種別:  論文
専門分野: 画像・パターン認識,コンピュータビジョン
キーワード: 
外観検査しきい値LSI誤検出率数値解析
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赤外線画像マッチングによるTFT基板の高精度ショート欠陥検出
前田 俊二 小野 眞 窪田 仁志 中谷 光雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1997/09/25
Vol. J80-D2  No. 9  pp. 2333-2344
論文種別:  論文
専門分野: 画像・パターン認識,コンピュータビジョン
キーワード: 
液晶ディスプレイショート赤外線画像マッチング
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LSIウェーハパターン自動外観検査における最適しきい値の自動生成
前田 俊二 窪田 仁志 牧平 坦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1996/02/25
Vol. J79-D2  No. 2  pp. 191-201
論文種別:  論文
専門分野: 画像・パターン認識,コンピュータビジョン
キーワード: 
外観検査しきい値LSIエッジ保存
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カスケードパターンマッチングによるLSIウェーハ多層パターン自動外観検査
前田 俊二 窪田 仁志 牧平 担 二宮 隆典 中川 泰夫 谷口 雄三 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1989/12/25
Vol. J72-D2  No. 12  pp. 2012-2022
論文種別:  論文
専門分野: 画像・パターン処理
キーワード: 
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局所摂動パターンマッチング法によるLSIウェーハパターンの精密外観検査
松山 幸雄 岩田 尚史 窪田 仁志 中川 泰夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1989/12/25
Vol. J72-D2  No. 12  pp. 2041-2050
論文種別:  論文
専門分野: 画像・パターン処理
キーワード: 
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LSIウエハアルミ配線パターン検査自動化の研究
原 靖彦 伏見 智 大島 良正 窪田 仁志 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1986/04/25
Vol. J69-C  No. 4  pp. 385-396
論文種別:  論文
専門分野: 集積エレクトロニクス
キーワード: 
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