福田 永


ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
福田 永 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/02/25
Vol. J82-C1  No. 2  pp. 35-41
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
シリコン酸化膜酸窒化N2OMOSFETULSI
 あらまし | 本文:PDF(688.1KB)

ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
福田 永 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/02/25
Vol. J82-C2  No. 2  pp. 49-55
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
シリコン酸化膜酸窒化N2OMOSFETULSI
 あらまし | 本文:PDF(688.2KB)