石井 浩市


中空状ターゲットスパッタ法による高Tc超伝導NbCxN1-xの高速膜形成
山本 寛 石井 浩市 田中 正一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1985/01/25
Vol. J68-C  No. 1  pp. 35-42
論文種別:  論文
専門分野: デバイス一般
キーワード: 
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