清水 耕作


反応性熱CVD法による多結晶Si1-xGex 薄膜の低温堆積とTFTへの応用
清水 耕作 張 建軍 半那 純一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8  pp. 616-623
論文種別:  招待論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
熱CVD低温結晶成長多結晶シリコンゲルマニウムTFT
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高画質TFD-LCDの設計
溝端 英司 平井 良彦 清水 耕作 内田 宏之 金子 節夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5  pp. 314-321
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
液晶ディスプレイTFD高画質素子面積バイアス比
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