深沢 剛


プラズマ堆積μc-SiヘテロエミッタによるSi-HBTの基礎検討
佐々木 公洋 深沢 剛 古川 静二郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1989/05/25
Vol. J72-C2  No. 5  pp. 478-483
論文種別:  特集論文 (シリコンLSIの高性能化技術特集)
専門分野: デバイス技術・バイポーラ
キーワード: 
 あらまし | 本文:PDF(533.7KB)