浜田 弘喜


多パルス照射エキシマレーザアニーリングにより形成したシリコン薄膜
松尾 直人 河本 直哉 浜田 弘喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2005/08/01
Vol. J88-C  No. 8  pp. 599-612
論文種別:  招待論文
専門分野: 
キーワード: 
多パルスELA多結晶Si引張応力結晶粒径二次元結晶成長
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チャネル形成領域両端に極薄誘電体膜をもつ新たなTFTの提案と理論検討
松尾 直人 木原 洋幸 山本 暁徳 河本 直哉 浜田 弘喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/10/01
Vol. J86-C  No. 10  pp. 1070-1078
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
TFT誘電体膜SOIトンネリング誘電体TFT(TDTFT)ダブルSOI(DSOI)
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エキシマレーザアニーリング時におけるディスク形状多結晶Si粒の形成
松尾 直人 納田 朋幸 河本 直哉 田口 亮平 宮井 良雄 浜田 弘喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8  pp. 700-703
論文種別:  特集レター (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ディスク形状多結晶Si粒エキシマレーザアニーリング表面形状結晶性
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エキシマレーザアニーリングにより形成された多結晶シリコンの成長様式―グレーン形状と水素の関係についての検討―
河本 直哉 松尾 直人 阿部 寿 宮井 良雄 浜田 弘喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8  pp. 659-665
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
エキシマレーザアニーリングSiN基板poly-Si水素結晶成長機構
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Si共鳴トンネリングMOSトランジスタ(SRTMOST)のダブルバリヤ/Si界面障壁高さに関する考察-ゲート長との関係-
松尾 直人 北川 康範 高見 義則 浜田 弘喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/04/01
Vol. J84-C  No. 4  pp. 326-327
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
SRTMOSTダブルバリヤ障壁高さゲート長
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高性能多結晶Si薄膜トランジスタの作製と高精細LCDライトバルブの特性改善
浜田 弘喜 阿部 寿 宮井 良雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/02/01
Vol. J84-C  No. 2  pp. 65-75
論文種別:  招待論文
専門分野: 
キーワード: 
poly-SiSPCELATFTLCD
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Si共鳴トンネリングMOSトランジスタの特性計算-相互コンダクタンスとサブスレッショルド 係数-
松尾 直人 三浦 隆司 山内 純也 浜田 弘喜 三好 正毅 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/03/25
Vol. J82-C2  No. 3  pp. 131-133
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
Si共鳴トンネリングMOSトランジスタ相互コンダクタンスサブスレッショルド係数
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極薄誘電体膜トンネル現象のMOSトランジスタへの応用
松尾 直人 三浦 隆司 浜田 弘喜 三好 正毅 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/02/25
Vol. J81-C2  No. 2  pp. 266-267
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
T-MOSTトンネル絶縁膜短チャネル共鳴トンネル効果サブスレッショルド特性
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極薄誘電体膜トンネル現象のMOSトランジスタへの応用
松尾 直人 三浦 隆司 浜田 弘喜 三好 正毅 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/02/25
Vol. J81-C1  No. 2  pp. 102-103
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
T-MOSTトンネル絶縁膜短チャネル共鳴トンネル効果サブスレッショルド特性
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多結晶Si薄膜の結晶欠陥と結晶粒径の関係
松尾 直人 衣笠 彰則 綾 洋一郎 納田 朋幸 浜田 弘喜 三好 正毅 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/07/25
Vol. J80-C2  No. 7  pp. 245-248
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
結晶欠陥多結晶Siの粒径原子間力顕微鏡(AFM)電子スピン共鳴(ESR)ラマン分光法
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エピタキシアルPbTiO3薄膜の作成
浜田 弘喜 師岡 久雄 平井 平八郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1981/01/25
Vol. J64-C  No. 1  pp. 47-48
論文種別:  技術談話室
専門分野: 
キーワード: 
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高周波スパッタリングによるPbTiO3薄膜の作成
浜田 弘喜 師岡 久雄 平井 平八郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1979/10/25
Vol. J62-C  No. 10  pp. 727-728
論文種別:  技術談話室
専門分野: 
キーワード: 
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電子ビーム蒸着によるPZT薄膜の作成
浜田 弘喜 大鹿 隆之 平井 平八郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1979/06/25
Vol. J62-C  No. 6  pp. 464-465
論文種別:  技術談話室
専門分野: 
キーワード: 
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