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江刺　正喜

高温成膜したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を用いた可変容量の集積化プロセス森脇　政仁掘露　伊保龍門田　道雄江刺　正喜田中　秀治
誌名: 電子情報通信学会論文誌 A 発行日: 2013/06/01 Vol. J96-A No. 6 pp. 342-350 論文種別: 特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集) 専門分野: キーワード: チタン酸バリウムストロンチウム(BST), 可変容量, トランスファ法, プラズマダメージ,
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Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子平野　圭介木村　悟利田中　秀治江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 A 発行日: 2013/06/01 Vol. J96-A No. 6 pp. 327-334 論文種別: 特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集) 専門分野: キーワード: MEMS, Ge犠牲層, AlN圧電膜, ラム波共振子,
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MEMSのウェーハレベルパッケージング江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 2008/11/01 Vol. J91-C No. 11 pp. 527-533 論文種別: 招待論文 (先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文特集) 専門分野: キーワード: MEMS, マイクロマシニング, 半導体微細加工, パッケージング,
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Siの異方性エッチングと直接接合を用いた微小液滴形成ユニットの研究朽網　道徳谷口　修菊地　英幸江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 2007/10/01 Vol. J90-C No. 10 pp. 671-682 論文種別: 論文専門分野: 機構デバイスキーワード: 異方性エッチング, KOH, 液滴形成, Si単結晶, 直接接合,
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集積化相対圧用容量形圧力センサの試作江刺　正喜上原　大司
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1993/01/25 Vol. J76-C2 No. 1 pp. 31-36 論文種別: 論文専門分野: 電子計測・制御キーワード: 静電容量式, 相対圧用センサ, 耐湿度, 集積化センサ,
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差動出力型マイクロフローセンサ江刺　正喜川合　浩史吉見　健一
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1992/11/25 Vol. J75-C2 No. 11 pp. 738-742 論文種別: 論文専門分野: 電子計測・制御キーワード: マイクロマシニング, マスフローセンサ, 差動出力, ヒータブリッジ, 微少流量,
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2線式シリコン容量形加速度センサ白井　稔人裏　則岳江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1992/10/25 Vol. J75-C2 No. 10 pp. 554-562 論文種別: 論文専門分野: 電子計測・制御キーワード: マイクロマシニング, 容量形センサ, 加速度センサ, 2線式検出, 残留応力,
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絶対圧用集積化容量形圧力センサ松本　佳宣江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1992/08/25 Vol. J75-C2 No. 8 pp. 451-461 論文種別: 論文専門分野: 電子計測・制御キーワード: 容量形圧力センサ, 集積化センサ, 絶対圧用, 2線式, バッチプロセスパッケージング,
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電源電圧と温度の影響が小さなC-Fコンバータ山口　元治松本　佳宣江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1991/11/25 Vol. J74-C2 No. 11 pp. 763-765 論文種別: レター専門分野: キーワード:
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マイクロマシニングセンサ江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1991/05/25 Vol. J74-C2 No. 5 pp. 404-410 論文種別: 招待論文 (センサとLSIの知的集積化論文特集) 専門分野: マイクロマシニングセンサキーワード:
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ハイブリッド形絶対圧用容量形圧力センサの試作江刺　正喜庄子　習一和田　敏忠永田　富夫
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1990/08/25 Vol. J73-C2 No. 8 pp. 461-467 論文種別: 論文専門分野: 集積エレクトロニクスキーワード:
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容量形センサ用C-FコンバータCMOSICの試作松本　桂宣庄子　習一江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1990/03/25 Vol. J73-C2 No. 3 pp. 194-202 論文種別: 論文専門分野: 集積エレクトロニクスキーワード:
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カテーテル用容量形圧力センサ江刺　正喜庄子　習一松本　佳宣古田　一吉
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1990/02/25 Vol. J73-C2 No. 2 pp. 91-98 論文種別: 論文専門分野: 半導体材料・デバイスキーワード:
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半導体触覚イメージの試作江刺　正喜庄子　習一山本　晃中村　克俊
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1990/01/25 Vol. J73-C2 No. 1 pp. 31-37 論文種別: 論文専門分野: 集積エレクトロニクスキーワード:
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シリコン-シリコン低温陽極接合江刺　正喜仲野　陽
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1989/02/25 Vol. J72-C2 No. 2 pp. 181-183 論文種別: レター専門分野: キーワード:
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集積化化学分析システム用マイクロポンプの試作庄子　習一江刺　正喜
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1988/12/25 Vol. J71-C No. 12 pp. 1705-1711 論文種別: 論文専門分野: 電子計測・制御キーワード:
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生体用マイクロISFETの試作庄子　習一江刺　正喜松尾　正之
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1985/08/25 Vol. J68-C No. 8 pp. 628-634 論文種別: 論文専門分野: 計測・応用工学キーワード:
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M₂O-Al₂O₃-SiO₂膜を用いたpNa，pK用ISFET 庄子　習一江刺　正喜松尾　正之
誌名: 電子情報通信学会論文誌 C 発行日: 1985/06/25 Vol. J68-C No. 6 pp. 475-481 論文種別: 論文専門分野: 計測・応用工学キーワード:
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4値TゲートのNMOS集積回路亀山　充隆樋口　龍雄江刺　正喜羽生　貴弘
誌名: 電子情報通信学会論文誌 D 発行日: 1984/09/25 Vol. J67-D No. 9 pp. 1064-1065 論文種別: 技術談話室専門分野: キーワード:
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