柴田 登


シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/04/25
Vol. J81-C2  No. 4  pp. 455-457
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池反射防止膜シリコン窒化膜プラズマCVD法スペクトル応答
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プラズマCVD法によりシリコン酸化膜とシリコン酸素窒化膜の生成
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/12/25
Vol. J79-C2  No. 12  pp. 747-748
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
プラズマCVD法酸素元素シリコン酸化膜シリコン酸素窒化膜電子親和力
 あらまし | 本文:PDF(126.7KB)

光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/12/25
Vol. J75-C2  No. 12  pp. 773-775
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
光CVD法プラズマCVD法損傷効果太陽電池反射防止膜
 あらまし | 本文:PDF(156.4KB)

光CVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/02/25
Vol. J75-C2  No. 2  pp. 78-84
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
光CVD法シリコン酸素窒化膜シリコン太陽電池反射防止膜
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シリコン太陽電池の反射防止膜に関する一考察
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1983/05/25
Vol. J66-C  No. 5  pp. 430-431
論文種別:  技術談話室
専門分野: 
キーワード: 
 あらまし | 本文:PDF(323.5KB)

DIP-COATING法によるSi膜の形成とその光特性
神村 三郎 柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1979/09/25
Vol. J62-C  No. 9  pp. 637-637
論文種別:  技術談話室
専門分野: 
キーワード: 
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