杉山 進


マイクロマシン関連技術論文小特集の発行にあたって
杉山 進 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/03/25
Vol. J82-C2  No. 3  pp. 83-83
論文種別:  巻頭言
専門分野: 
キーワード: 
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微小音響孔アレーを用いた特性可変吸音デバイス
小西 聡 與田 光宏 杉山 進 秋下 貞夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/03/25
Vol. J82-C2  No. 3  pp. 95-100
論文種別:  特集論文 (マイクロマシン関連技術論文小特集)
専門分野: 
キーワード: 
吸音特性可変ヘルムホルツ共鳴器型吸音構造X線リソグラフィ微小音響孔アレー低周波数ノイズ
 あらまし | 本文:PDF(2MB)

CMOS処理回路を内蔵した32×32(1k)圧力センサアレー
杉山 進 川畑 賢 船橋 博文 瀧川 光治 五十嵐 伊勢美 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1991/05/25
Vol. J74-C2  No. 5  pp. 411-420
論文種別:  特集論文 (センサとLSIの知的集積化論文特集)
専門分野: マイクロマシニングセンサ
キーワード: 
 あらまし | 本文:PDF(624.5KB)