川畑 賢


CMOS処理回路を内蔵した32×32(1k)圧力センサアレー
杉山 進 川畑 賢 船橋 博文 瀧川 光治 五十嵐 伊勢美 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1991/05/25
Vol. J74-C2  No. 5  pp. 411-420
論文種別:  特集論文 (センサとLSIの知的集積化論文特集)
専門分野: マイクロマシニングセンサ
キーワード: 
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