小川 和宏


エキシマレーザ照射で形成した逆スタガ構造多結晶シリコン薄膜トランジスタ
小野 記久雄 小川 和宏 作田 弘樹 小西 信武 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5  pp. 249-255
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ多結晶シリコンエキシマレーザTFTLCD
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