安居 勝


レーザリペア技術を用いたTFT-LCDの無点欠陥化
鵜飼 育弘 安居 勝 湯川 禎三 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/02/25
Vol. J80-C1  No. 2  pp. 90-91
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
TFTリペアレーザカットレーザウェルド蓄積容量
 あらまし | 本文:PDF(112.4KB)

レーザリペア技術を用いたTFT-LCDの無点欠陥化
鵜飼 育弘 安居 勝 湯川 禎三 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/02/25
Vol. J80-C2  No. 2  pp. 85-86
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
TFTリペアレーザカットレーザウェルド蓄積容量
 あらまし | 本文:PDF(113.5KB)