塩野 忠久


イオンビーム照射による水晶振動子の周波数変動の理論解析
塩野 忠久 長田 祐介 中川 恭彦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/03/01
Vol. J91-C  No. 3  pp. 194-203
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
水晶振動子周波数調整イオンビームエッチング周波数シフト
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イオンビームエッチングを用いた水晶振動子の周波数調整方法
塩野 忠久 久保 信一 伊藤 誠 清水 泰仁 土倉 一夫 土屋 孝彰 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/02/01
Vol. J90-C  No. 2  pp. 159-165
論文種別:  論文
専門分野: 電子管,真空・ビーム技術
キーワード: 
水晶振動子周波数調整イオンビームエッチング
 あらまし | 本文:PDF(1MB)

高速応答蒸発源を用いた水晶振動子の周波数調整方法
塩野 忠久 久保 信一 伊藤 誠 清水 泰仁 土倉 一夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2006/04/01
Vol. J89-C  No. 4  pp. 137-144
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
水晶振動子周波数調整伝送法蒸発源
 あらまし | 本文:PDF(648KB)