塚田 峰春


微小液滴形成ユニットのための印刷型圧電アクチュエータの研究
朽網 道徳 塚田 峰春 肥田 勝春 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/08/01
Vol. J90-C  No. 8  pp. 589-599
論文種別:  論文
専門分野: 機構デバイス
キーワード: 
圧電層Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PbTiO3-PbZrO3液滴形成Si単結晶スクリーン印刷
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