吉井 栄仁


金属インプリント法による結晶粒位置制御と単結晶Si薄膜トランジスタへの応用
牧平 憲治 吉井 栄仁 浅野 種正 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8  pp. 644-650
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
poly-Si TFT核形成位置制御インプリント法固相結晶化多結晶シリコン
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