加藤 武瑠


次世代半導体配線用めっき銅薄膜の機械特性分布広がり制御因子の解明
後藤 理 加藤 武瑠 鈴木 研 三浦 英生 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2016/11/01
Vol. J99-C  No. 11  pp. 508-515
論文種別:  特集論文 (次世代モビリティ機器を牽引する高機能・高密度実装技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
めっき銅薄膜配線機械特性分布広がりナノインデンテーション試験
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