加藤 勇


2重管式同軸線路形MPCVD装置を用いて作製したa-Si:H/Si3N4多層膜の膜質とその光回路素子への応用
加藤 勇 匂坂 雅彦 菅井 貴義 上垣内 岳司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/04/01
Vol. J84-C  No. 4  pp. 245-250
論文種別:  論文
専門分野: 光エレクトロニクス
キーワード: 
マイクロ波プラズマCVD多層膜光学的エネルギーバンドギャップ光導波路TMモード透過型光回路素子
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縦磁界印加によるArプラズマの安定化
加藤 勇 山岸 俊浩 森田 義則 神子 太郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/11/25
Vol. J80-C2  No. 11  pp. 378-383
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
マイクロ波プラズマCVD縦磁界安定性径方向拡散低ガス圧
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RFバイアス印加同軸線路形マイクロ波プラズマCVDによるSiN膜の低温作製
森田 義則 加藤 勇 中嶋 達司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/06/25
Vol. J79-C2  No. 6  pp. 303-310
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
マイクロ波プラズマCVDSiN膜RFバイアスイオン衝撃効果膜表面加熱効果
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マイクロ波プラズマ中に設置した電極の電位がプラズマパラメータに与える影響
加藤 勇 松下 亨 山下 真 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/01/25
Vol. J79-C2  No. 1  pp. 1-7
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
基板電位内管電位イオン衝撃プラズマパラメータマスクウェル・ボルツマン分布
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マイクロ波プラズマCVDにおけるラジカル種の制御
加藤 勇 米田 俊之 松下 亨 山下 真 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1995/04/25
Vol. J78-C2  No. 4  pp. 142-148
論文種別:  論文
専門分野: 電子部品
キーワード: 
マイクロ波プラズマCVD電子温度電子密度フラグメンテーションパターンa-Si:H膜
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プラズマCVDによって作製されたa-Si:H膜に与えるイオン衝撃の影響
加藤 勇 米田 俊之 松下 亨 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/09/25
Vol. J77-C2  No. 9  pp. 384-391
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
プラズマCVDa-Si:HDCバイアス電圧シース電圧イオン衝撃
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SiN膜装荷による薄膜導波路形偏光素子
加藤 勇 森 一富 佐藤 甲癸 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/10/25
Vol. J75-C1  No. 10  pp. 630-637
論文種別:  論文
専門分野: 光エレクトロニクス
キーワード: 
薄膜導波路形偏光素子複素屈折率消光比挿入損SiN薄膜
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RFバイアス印加マイクロ波プラズマCVDによるSiN薄膜の作成
伊藤 尚己 加藤 聖隆 加藤 勇 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1991/01/25
Vol. J74-C2  No. 1  pp. 21-25
論文種別:  論文
専門分野: 材料
キーワード: 
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a-Si:H膜装荷による高分子薄膜導波路形偏光素子
加藤 勇 杉山 泰之 椙田 耕太郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1988/01/25
Vol. J71-C  No. 1  pp. 68-73
論文種別:  論文
専門分野: 光エレクトロニクス
キーワード: 
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金属装荷による多層薄膜導波形偏光素子
加藤 勇 原 亮一 杉山 泰之 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1987/06/25
Vol. J70-C  No. 6  pp. 846-850
論文種別:  論文
専門分野: 光・量子エレクトロニクス
キーワード: 
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二重管式同軸線路形マイクロ波水素プラズマCVDによるa-Si:H膜の作成
加藤 勇 上田 哲也 畑中 和久 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1987/01/25
Vol. J70-C  No. 1  pp. 78-88
論文種別:  論文
専門分野: 材料
キーワード: 
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同軸線路形マイクロ波プラズマCVD法によるプラズマ内外でのa-Si:H薄膜の作成
加藤 勇 矢野 元康 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1986/05/25
Vol. J69-C  No. 5  pp. 662-668
論文種別:  論文
専門分野: 材料
キーワード: 
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同軸線路形マイクロ波プラズマCVD装置によるSiN膜の作成
加藤 勇 幸山 裕亮 野口 一人 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1985/10/25
Vol. J68-C  No. 10  pp. 788-795
論文種別:  論文
専門分野: 半導体
キーワード: 
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高分子材料を用いた多層薄膜光回路素子
加藤 勇 小松 政敏 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1983/02/25
Vol. J66-C  No. 2  pp. 145-148
論文種別:  論文
専門分野: 
キーワード: 
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高分子薄膜光導波路
加藤 勇 小松 政敏 川本 茂春 松本 康 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1982/11/25
Vol. J65-C  No. 11  pp. 860-866
論文種別:  論文
専門分野: 
キーワード: 
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マイクロ波パルス励起Ar+イオンレーザ
加藤 勇 清水 司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1972/07/25
Vol. J55-C  No. 7  pp. 359-366
論文種別:  論文・資料
専門分野: 
キーワード: 
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マイクロ波パルス励起He-Kr+イオンレーザ
加藤 勇 清水 司 新海 陽太郎 鈴木 和雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1972/07/25
Vol. J55-C  No. 7  pp. 374-375
論文種別:  技術談話室
専門分野: 
キーワード: 
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