標準CMOS集積回路による電子線検出

亀谷 祐輔  宇野 重康  中里 和郎  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J93-C   No.12   pp.664-669
公開日: 2010/12/01
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 電子回路
キーワード: 
電子線検出,  CMOSセンサ,  

本文: PDF(1.3MB)
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あらまし: 
CMOS集積回路を用いた新しい電子線検出器を提案する.電子線を配線層で受け,電荷を別のキャパシタに転送して検出する.回路解析から時定数を導出し,回路パラメータを決定する方法を提案する.走査型電子顕微鏡の電子線源を用いた電子線照射実験を行い,電子線電流量に比例する出力信号を確認した.