フォトニック結晶を用いた並列処理型エリプソメータ

佐々木 良裕  佐藤 尚  橋本 直樹  川上 彰二郎  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J87-C   No.11   pp.984-985
公開日: 2004/11/01
Online ISSN: 
Print ISSN: 1345-2827
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
エリプソメトリー,  フォトニック結晶,  並列処理,  光学計測,  

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あらまし: 
フォトニック結晶による偏光子と波長板のアレーを用いた並列処理型エリプソメータを提案し,試作した.入射偏光に対応する強度分布パターンをCCDで受光し,基本動作を確認した.SiO2薄膜からの反射光の偏光解析を行い,膜厚に対応した変化を観測しエリプソメータとしての基本動作の実証に成功した.