Zn拡散濃度プロファイルの理論的及び実験的検討

川面 英司  水野 和雄  内田 靖二  河野 健治  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J85-C   No.8   pp.774-775
公開日: 2002/08/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: レター論文
専門分野: 
キーワード: 
Zn拡散,  光導波路解析,  有限差分ビーム伝搬法,  陰差分法,  陽差分法,  

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あらまし: 
III-V族半導体へのZn拡散濃度プロファイルを光導波路解析法の一種である陰的有限差分ビーム伝搬法(FD-BPM)を用いて計算し,計算結果と実験値の比較を行った.また,計算時間,解の安定性の点で陽差分法との比較を行った.