細線反射鏡の高感度微少変位センサへの応用

小嶋 幹男  久恒 正希  水野 英明  北島 博愛  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J76-C1   No.8   pp.321-324
発行日: 1993/08/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
円筒反射鏡,  光路長,  光重心点,  高分解能,  変位センサ,  

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あらまし: 
直径約数十ミクロンの細線を円筒反射鏡として用いることにより,10mm程度の光路長で1000倍以上の光重心点変位が得られることに着目した.これを変位センサに応用することによって,微少な変位を高分解能(ナノメータオーダ)での測定が可能となった.