精密カッティング工具のための新しい光学的測定法

小嶋 幹男  久恒 正希  水野 英明  北島 博愛  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J76-C1   No.12   pp.553-556
発行日: 1993/12/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
精密ダイヤモンド工具,  超精密旋盤,  光センサ,  光重心点変位,  カッティングエッジ,  

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あらまし: 
新しい光重心点変位検出光学系を2系統用いることにより,カッティングエッジセンタの位置やダイヤモンドカッティング工具の稜形状を精密に測定している.