電子部品の捺印パターン欠陥検出手法の一考察

嶋 好博  柏岡 誠治  安江 利一  

誌名
電子情報通信学会論文誌 D   Vol.J71-D   No.6   pp.1091-1099
発行日: 1988/06/25
Online ISSN: 
Print ISSN: 0913-5713
論文種別: 論文
専門分野: 画像・パターン処理
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あらまし: 
物体表面に捺(なつ)印された文字パターンや紙面に印字された文字パターン等に対して,その印字品質を自動的に評価することは,印字品質の検査や印刷装置の監視,あるいは文字認識装置の評価のために重要な課題である.本論文ではトランジスタや集積回路等の電子部品の表面に捺印された文字を対象に,自動的に外観を検査することを目的とした欠陥検出手法の比較結果について報告する.ここでは,まず,検査対象である捺印パターンの特徴と,消え,汚れ,にじみ等の捺印欠陥の検出課題を示す.次に,欠陥検出の手法として,標準的なパターンとの照合を重みを付けて行う手法,標準的なパターンを空間的に分割し,この分割パターンを用いて照合を行う手法,文字の芯線部と背景部からあらかじめ選択した固有の点をもとに局部パターンの照合を求める手法,の三つの実現方法を提案する.最後に,これらの欠陥検出手法を計算機上で実現し,実際のトランジスタの捺印パターンを対象とした実験結果を示し,これらの手法を比較検討すると共に,その有効性と利用法を明らかにする.