SOI用電子ビーム整形法

菅 博  小寺 正敏  水野 隆久  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J70-C   No.10   pp.1449-1451
公開日: 1987/10/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: レター
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あらまし: 
SOI技術に用いる新しいビーム整形法を提案している.陰極から出たビームは,12本の電極からなる整形電極の中心を通過することによって整形される.電極電位の組合せによってビーム断面は種々に変更される.