誘電体円柱共振器による複素誘電率測定法に関する諸検討

小林 禧夫  田中 周三  

誌名
電子情報通信学会論文誌 B   Vol.J59-B   No.4   pp.223-230
発行日: 1976/04/25
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Print ISSN: 0373-6105
論文種別: 論文
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あらまし: 
2枚の平行金属板間に円柱試料をはさんで構成される誘電体共振器による複素誘電率測定法は,高誘電率低損失材料の高精度測定法として知られている.本論文では,この測定法に関する種々の問題点について,解析的,および,実験的検討が与えられる.主な内容は,測定に必要な金属端板寸法の評価法,表示式による測定誤差の評価法,比誘電率の温度係数測定のための摂動公式の導出,端板金属の表皮抵抗の評価法などである.又,測定に際して,数種の作製された図表を利用することにより,この測定法の欠点とされていた複雑な計算過程を簡略化することが可能なことを示す.実際に,構成の単純な測定装置を用いて,TiO2-BaO系セラミック材の測定を行い,測定誤差の評価を行う.実測値の一例は,εr=33.21,tanδ=2.1×10-4ηε=-46ppm/℃である.測定精度は,比誘電率測定については,0.1~0.2%,tanδ測定については,H011,H012,H013モードを使用した場合,それぞれ,20,12,9%である.又,温度係数測定については,20℃から70℃までの温度変化に対して,1ppm/℃の読取り精度が得られる.