ダイアタッチフィルムのリング先貼り方式によるカーフ幅均一性の向上

文田 祐介  田久 真也  上道 厚史  蓬田 邦雄  畠山 恵一  田澤 強  尾崎 義信  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J102-C   No.3   pp.51-53
公開日: 2019/02/12
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: ショートノート
専門分野: 
キーワード: 
先ダイシングプロセス,  ダイアタッチフィルム,  カーフ整列性,  先貼り方式,  

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あらまし: 
先ダイシングプロセス(DBG)でダイアタッチフィルム(DAF)を活用する際,DAF貼付によりカーフ整列性が乱れることがある.そこで,リングフレームへテープを先に貼付,その後ウェハに貼付をする先貼り方式を実施し,カーフ整列性に与える効果を評価した.