高機能車載センサ創出に向けた三次元集積化技術の開発

大原 悠希  鈴木 拓  稲垣 優輝  水谷 厚司  浅海 一志  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J101-C   No.2   pp.50-57
発行日: 2018/02/01
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: 招待論文 (次世代モビリティ機器を実現するヘテロインテグレーション技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
三次元集積化技術,  TSV,  はんだTSV,  セルフアセンブリ技術,  低コスト,  

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あらまし: 
自動運転及び運転支援技術を支えるセンサは,高機能化と小型化が求められている.その要求を満たすために,我々は三次元集積化技術の開発を行っている.本論文では,TSV形成工程とバンプ形成工程を一つの工程に統合し低コスト化を図るはんだTSVと積層工程の高スループット化を実現するセルフアセンブリ技術の高精度位置合せ手法について紹介する.