光学的手法による固体プラズマ材料の物性測定に関する研究

秋山 涼介  倉林 徹  淀川 信一  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J101-C   No.12   pp.498-505
公開日: 2018/11/12
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: 特集論文 (大学発マイクロ波論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
テラヘルツ反射スペクトル,  プラズマ振動,  非破壊測定,  固体プラズマ材料,  

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あらまし: 
n-InSbをはじめとする固体プラズマ材料のプラズマ振動付近のテラヘルツ反射スペクトルを測定し,これに計算結果をフィッティングすることで,電子密度,電子移動度の非破壊測定を室温〜低温度領域にて試みた.室温状態のn-Geにおける測定では,Van der Pauw法を基準として電子密度,電子移動度共に約10%以内の誤差率で非破壊による高精度のパラメータ抽出に成功した.また,試料冷却装置を用い,n-Ge,n-InPにおいて,低温での非破壊電子密度,電子移動度測定に成功した.特にn-InPにおいて,レストストラーレン反射を利用することで低温での精度向上にも期待できるようになった.以上の結果から,非破壊で室温から低温における固体プラズマ材料の非破壊物性測定ができることを証明することができ,n-InSbにおいては分光器の低周波限界により高い精度の測定は未達成なものの,適した分光器の選択をすることで,非破壊で高精度の物性測定が示唆された.