導電性接着剤内部の金属フィラー界面における電気抵抗及び熱抵抗の解析

荒尾 修  新帯 亮  杉浦 昭夫  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J100-C   No.8   pp.348-356
公開日: 2017/07/14
Online ISSN: 1881-0217
論文種別: 論文
専門分野: 電子材料
キーワード: 
導電性接着剤,  パーコレーション,  FIB-SEM,  界面抵抗,  熱伝導,  

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あらまし: 
導電性接着剤は,接着剤内部に分散させた金属フィラーを介して電気や熱の伝導が行われる.しかし,接着剤内部の伝導メカニズムに関する研究はあまり進んでおらず,信頼性の検証がしきれていない.これは,パーコレーションネットワークを形成する3次元的な伝導経路を正確に観察する手法が無かったことに起因する.これに対し本研究では,正確な研磨と観察を繰返すことで3次元観察を行うFIB-SEMにより,接着剤内部のパーコレーションネットワークを可視化した.更にこの観察結果から材料特性を考察した.電気伝導に関しては,接触点数からフィラ接触点の平均的な電気抵抗を定量化した.また熱伝導に関しては,界面抵抗モデルを導入した有限要素法による熱伝導解析を行い,フィラー界面の平均的な熱抵抗を定量化した.更に,熱抵抗に関する妥当性検証のため,定量化した界面熱抵抗からサンプルの熱抵抗を予測した.この予測値の精度は約9%であった.