キーワード : electric breakdown


極薄シリコン酸化膜におけるPre-Breakdown現象のキャリヤセパレーション法による解析
宇野 重康 石田 明寛 鎌倉 良成 谷口 研二 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/04/01
Vol. J86-C  No. 4 ; pp. 457-466
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
pre-breakdownキャリヤセパレーションanomalous SILC絶縁破壊electric breakdown
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