キーワード : 水素ラジカル


三次元LSIに向けたはんだと接着剤のハイブリッド接合技術と表面処理技術
仁村 将次 佐久間 克幸 庄子 習一 水野 潤 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2012/11/01
Vol. J95-C  No. 11 ; pp. 296-303
論文種別:  特集論文 (高密度実装を牽引する材料技術とヘテロインテグレーション論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
三次元LSI接合樹脂封止フラックスレス水素ラジカル
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無洗浄鉛フリーはんだペーストの印刷と水素ラジカルリフローを用いたマイクロデバイスの気密封止技術
押川 紘樹 山本 真一 日暮 栄治 須賀 唯知 岡田 咲枝 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2011/11/01
Vol. J94-C  No. 11 ; pp. 427-432
論文種別:  特集論文 (電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
マイクロデバイス気密封止はんだペースト水素ラジカルスクリーン印刷
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水素プラズマを用いた鉛フリーはんだリフロープロセスのリアルタイム観察とリフロープロファイルの構築
日暮 栄治 西 修一 須賀 唯知 萩原 泰三 竹内 達也 山形 咲枝 加藤 力弥 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/11/01
Vol. J91-C  No. 11 ; pp. 627-634
論文種別:  特集論文 (先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文特集)
専門分野: 信頼性解析評価技術
キーワード: 
鉛フリーはんだはんだバンプ形成水素プラズマ水素ラジカルフラックス残渣
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