キーワード : 変位センサ


線集光グレーティングカプラを用いた光集積変位センサ
裏 升吾 篠原 正幸 遠藤 敏朗 栖原 敏明 西原 浩 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/05/25
Vol. J77-C1  No. 5 ; pp. 222-228
論文種別:  特集論文 (集積ホトニクス技術論文特集)
専門分野: 機能デバイス
キーワード: 
光集積回路変位センサグレーティングカプラ光学干渉計Si基板導波路
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細線反射鏡の高感度微少変位センサへの応用
小嶋 幹男 久恒 正希 水野 英明 北島 博愛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/08/25
Vol. J76-C1  No. 8 ; pp. 321-324
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
円筒反射鏡光路長光重心点高分解能変位センサ
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