キーワード : 地球温暖化


省電力志向新世代ネットワーク
南 正輝 川村 龍太郎 森川 博之 平原 正樹 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 B
発行日: 2009/04/01
Vol. J92-B  No. 4 ; pp. 605-614
論文種別:  招待論文 (ネットワークを支えるソフトウェア技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
新世代ネットワーク地球温暖化グリーンITネットワークアーキテクチャ
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地球温暖化防止対策ガスC5F8を用いた高密度プラズマによる酸化膜エッチング特性
今井 伸一 地割 信浩 原田 剛史 二河 秀夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/12/25
Vol. J81-C2  No. 12 ; pp. 899-906
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
環境保全地球温暖化代替ガスC5F8ガス高密度プラズマ酸化膜エッチング
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