キーワード : 光路長


細線反射鏡の高感度微少変位センサへの応用
小嶋 幹男 久恒 正希 水野 英明 北島 博愛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/08/25
Vol. J76-C1  No. 8 ; pp. 321-324
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
円筒反射鏡光路長光重心点高分解能変位センサ
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