高尾 英邦


超低侵襲実装を志向する「細胞化センサ」デバイス
高尾 英邦 森 宏仁 前田 祐作 綿谷 一輝 寺尾 京平 下川 房男 前田 光平 香西 亮吾 
誌名:   
発行日: 2018/01/01
Vol. J101-C  No. 1  pp. 9-17
論文種別:  招待論文
専門分野: マイクロ波,ミリ波
キーワード: 
低侵襲技術マイクロセンサIoTTrillion SensorsMEMS触覚センサ
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SOI構造を用いた高温用3次元加速度ベクトルセンサ
高尾 英邦 松本 佳宣 田中 秀一 徐 煕敦 石田 誠 中村 哲郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1995/10/25
Vol. J78-C2  No. 10  pp. 495-505
論文種別:  論文
専門分野: 電子回路
キーワード: 
SOI技術マイクロマシニングシリコン加速度センサFEMシミュレーション
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