裏 則岳


2線式シリコン容量形加速度センサ
白井 稔人 裏 則岳 江刺 正喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/10/25
Vol. J75-C2  No. 10  pp. 554-562
論文種別:  論文
専門分野: 電子計測・制御
キーワード: 
マイクロマシニング容量形センサ加速度センサ2線式検出残留応力
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