神力 博


高誘電率酸化タンタル膜の低消費電力高集積DRAMへの適用
神力 博 
誌名:   
発行日: 2017/10/01
Vol. J100-C  No. 10  pp. 448-456
論文種別:  招待論文 (学会創立100周年記念論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
半導体誘電体DRAM酸化タンタルCVD
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