水谷 厚司


高機能車載センサ創出に向けた三次元集積化技術の開発
大原 悠希 鈴木 拓 稲垣 優輝 水谷 厚司 浅海 一志 
誌名:   
発行日: 2018/02/01
Vol. J101-C  No. 2  pp. 50-57
論文種別:  招待論文 (次世代モビリティ機器を実現するヘテロインテグレーション技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
三次元集積化技術TSVはんだTSVセルフアセンブリ技術低コスト
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